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반도체 공정 원격 설비 관리

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정밀한 공정이 요구되는 반도체 제조 현장의 핵심은 실시간 데이터 확보와 안정적인 설비 운영입니다. 어드밴텍은 현장과 클라우드를 잇는 통합 솔루션을 통해 공정 효율성을 높이고 완벽한 원격 관리를 지원합니다.

인텔리전트 원격 설비 관리

분산된 현장 원격 관리

장치 레이블링을 통해 센싱 네트워크를 구성하고, 중앙 관리 시스템을 통해 원거리 현장의 장비를 효율적으로 통합 관리합니다.

다목적 데이터수집 인터페이스

RS-485, 이더넷, 무선 I/O 및 고속 PCIe 카드 등 다양한 산업용 인터페이스를 통해 센서와 장비로부터 정밀한 데이터를 수집합니다.

실시간 장비 상태 모니터링

IoT 시설 및 산업 프로세스를 효과적으로 모니터링하여 장비 효율성과 관리 기능을 최적화하고 작업자의 안전성을 향상시킵니다.

유연한 유무선 네트워킹

광범위한 유무선 인터페이스와 산업용 프로토콜을 지원하여, 어떠한 네트워킹 환경에서도 유연하고 안정적인 통신을 보장합니다.

현장에서 검증된 신뢰성

반도체 및 다양한 스마트 제조 현장의 까다로운 애플리케이션 요구 사항을 충족하며, 검증된 안정성으로 최적의 성능을 제공합니다.

H/W 및 S/W 통합 솔루션

WebAccess/SCADA, DeviceOn 등 산업용 소프트웨어와 하드웨어를 완벽하게 통합하여 포괄적인 원격 설비 제어 기능을 제공합니다.

산업 핵심 기술

초미세 공정과 극한의 정밀도가 요구되는 반도체 제조 환경에서, 설비의 안정적인 운영과 데이터 기반의 의사결정은 필수적입니다. 어드밴텍은 현장의 데이터를 정확하게 감지하는 센싱 기술부터, 이를 실시간으로 처리하고 전송하는 엣지 컴퓨팅 및 네트워크 인프라, 그리고 전체 시스템을 관제하는 지능형 소프트웨어까지—스마트 팹(Smart Fab) 구축과 운영 최적화를 위한 4단계 핵심 기술 솔루션을 제안합니다.

데이터 수집 및 센싱

반도체 팹(Fab)과 클린룸의 정밀 모니터링을 위해 고정밀 신호 처리 및 무선 IoT 센서를 활용합니다. 진동, 온도, 전력 등 미세한 변화를 실시간으로 계측하여 공정 수율 저하를 방지하는 정확한 데이터를 제공합니다.

엣지 컴퓨팅 및 제어

공간 제약이 있는 반도체 라인에 최적화된 컴팩트 팬리스 IPC와 EtherCAT 제어 시스템을 제공합니다. 엣지 단에서의 실시간 데이터 처리와 로직 제어를 통해 초저지연 대응을 실현하고 클라우드 부하를 최소화합니다.

산업용 네트워크 인프라

24/7 무중단 공정을 위해 X-Ring 이중화 기술이 적용된 고신뢰성 네트워크를 구축합니다. 지능형 게이트웨이로 레거시 데이터를 OPC UA/MQTT로 변환하여, OT와 IT 간의 완벽한 상호 운용성과 데이터 무결성을 보장합니다.

소프트웨어 및 시각화

하드웨어 제어, 엣지 연결, 디바이스 관리 등 폭넓은 산업용 소프트웨어 라인업을 제공하여 팹 시설을 통합적으로 관리합니다. 100% 웹 기반 SCADA 및 AI 기반 PHM 솔루션은 설비 고장을 사전에 예측하며, 시각화된 대시보드를 통해 데이터 기반의 전략적 의사결정을 강력하게 지원합니다.

적용 사례

로봇 및 CVD/PVD 장비

압축 공기 설비 시스템

웨이퍼 광학 검사

폐수 처리 시스템

웨이퍼 프로빙 장비

머신 데이터 수집 및 분석을 지원하는 원격 I/O 솔루션

자동화된 반도체 제조 공정에서 로봇과 CVD/PVD 머신을 흔히 볼 수 있습니다. 로봇은 웨이퍼를 다양한 생산 라인에서 빠르게 이동하여 생산 수율을 높이고 CVD/PVD 머신을 사용하여 웨이퍼에 박막을 형성합니다. 이와 같은 머신으로부터 데이터를 확보하기 위해서는 지속적인 머신 운영 및 생산 수율을 높일 수 있는 고급 데이터 수집 및 분석 기능이 필요합니다.

ADAM-6217 및 EKI-2728 스위치와 같은 어드밴텍 산업용 원격 I/O 모듈 구성은 이더넷을 통해 주요 매개 변수를 효과적으로 캡처하는 동시에 분석을 위해 VM 서버로 데이터를 전송하여 반도체 관리, 기계 효율성 및 생산 안정성을 향상시킵니다.

LoRaWAN 무선 솔루션을 이용한 설비 모니터링

어드밴텍의 LoRaWAN 무선 솔루션에는 진동센서 WISE-2410, 무선 I/O 모듈 WISE-4610, 플렉서블I/O WISE-S617이 포함되어 대만 반도체 제조 공장의 CDA 시스템에서 압축기 검사, 환경 및 설비 전류/전원 모니터링을 지원니다. 

 간편하고 안정적이며 비용 효율적인 프라이빗 LoRaWAN 네트워크 솔루션은 반도체 업계의 다양한 설비 모니터링 애플리케이션에 최적화 되어있습니다.

웨이퍼 표면 순도 및 평면성 검사를 보장하는 머신 비전 솔루션

CMP(Chemical Mechanical Planalization) 공정에서 웨이퍼 표면 손상 및 스크래치 결함을 찾아 웨이퍼 표면 순도와 평면성을 확보해야 합니다.  

어드밴텍은 정밀하고 효율적인 반도체 생산을 위해 산업용 이미지 센서, 고급 컴퓨팅 IPC-220, 프레임 그래버 카드 PCIE-1674E-AE, 산업용 카메라 및 VisionNavi 애플리케이션 소프트웨어를 포함하는 머신 비전 검사 솔루션을 제공합니다.

LoRaWAN 무선 센싱 및 통신을 통한 원격 검사

반도체 제조나 발전소 등 첨단 기술 산업에서는 많은 위험물 및 유해화학물질이 사용됩니다. 이러한 화학 물질은 주변 환경을 오염시킬 뿐만 아니라 폐기물 처리 및 관리 과정도 복잡합니다. 

산업 폐기물 처리 시스템은 보통 높은 굴뚝에 가스를 분산시키기 위한 검사 체크 포인트가 존재합니다. 어드밴텍 LoRaWAN 무선 IoT 센싱 장치 WISE-6610 및 WISE-2410은 시스템을 원격으로 모니터링할 수 있어 폐기물 처리 시스템을 위한 완벽한 시설 모니터링 솔루션입니다.

데이터 수집 및 통신을 통한 장비 테스트 및 측정 기능 강화

웨이퍼 테스트는 반도체 소자 제작 시 매우 중요한 단계입니다. 전기적 특성을 정밀하게 측정하는 데 필요한 웨이퍼 프로버(Prober) 장비로 수행됩니다. 

어드밴텍 PCIE-1753과 같은 고밀도 디지털 I/O 카드는 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있는 주변 스위치/장치를 제어하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 테스트 시 각 웨이퍼의 전기적 특성을 정확하게 측정하기 위한 아날로그 출력에은 고성능 PCIE-1812와 PCIE-1824가 충족했습니다.  

또한 어드밴텍의 포괄적인 DAQ 디바이스와 소프트웨어 개발 키트는 웨이퍼 테스트 장비를 구축하는 데 드는 비용을 효과적으로 제어하고 시간을 단축할 수 있었습니다.

추천 소프트웨어 제품

WISE-EdgeLink

별도의 프로그래밍 없이 200종 이상의 산업용 프로토콜을 지원하여 레거시 장비의 데이터를 수집하고, MQTT/OPC UA를 통해 상위 시스템으로 전송하는 엣지 데이터 수집 소프트웨어입니다.

DAQNavi

하드웨어 제어 및 개발용 통합 소프트웨어입니다. Windows 기반 유틸리티를 통해 AI/AO, DI/DO 등을 설정해 하드웨어를 손쉽게 진단합니다.

WebAccess/SCADA

100% 웹 기반 SCADA이자 개방형 IoT 플랫폼으로, 현장 데이터를 수집하여 MQTT를 통해 클라우드로 전송하는 게이트웨이 역할을 수행합니다.

EdgeSync 360 / EdgeHub

엣지 단의 연결, 관리 및 분석을 원활하게 수행할 수 있도록 지원하는 IoT 엣지 디바이스 관리 플랫폼입니다.